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5送风系统
5.1 风管应为金属材料制作，咬口缝均应胶封。 ?【检查方法】外观检查。
?【结果处理】不符合要求但尚未影响到某些参数，可先不更换。 5.2风管应有足够内径，控制风速在以下范围：
总管 7～9m/s
无风口支管或干管 5～7m/s 有风口支管或干管 3～5m/s ?【检查方法】根据风量估算。
?【结果处理】未影响到噪声，可不改动，洁净室净化工程，否则应适当减小风速，但又要不影响换气次数。
5.3风管法兰之间均应有密封垫，密封垫材料宜为闭孔海绵橡胶，严禁采用橡胶、乳胶海绵、聚乙烯、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料。厚度不应小于5mm。密封垫上不得有涂料。
2.3悬浮微粒（Airborne particles）
空气介质中的微粒，粒径小于10μm的固体或液体粒子，亦称总悬浮颗粒物。洁净室工程就是要净化掉这些杂质，应用于对净化有要求的一些精密仪器或产品生产的洁净空间。
?【参考】 微粒对人体健康的影响与其性质、吸入量及其粒径大小有关。空气动力学粒径大于10μm的粒子基本上被阻于人的鼻腔；大于2μm、小于10μm的粒子约有90％可进入并沉积在呼吸道的各个部位，10％可以达到肺的深部，净化车间工程，
并沉积于肺中；小于2μm的粒子100％可以吸入肺部，其中0.3～2μm的粒子几乎全沉积于肺部而不能呼出。
?【参考】 气溶胶（Aerosol）是指含有分散相悬浮微粒的空气介质，是一种分散体系。从气溶胶力学角度考察，净化，其大小可为10-7～10-1cm；但通常是指10-7～10-2cm。
?【参考】 生物气溶胶（Bioaerosol）是指空气环境中弥散的生物介质（活粒子、过敏素、毒1素或微生物）
?【参考】 ISO定义：气溶胶是指沉降速度可以忽略的固体粒子、液体粒子或固体与液体粒子在气体介质中的悬浮体。
二、空态、静态测试
(一)测试前的准备
1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行清洁。
2、采用光散射粒子计数器对高1效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高1效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高1效空气过滤器2--3厘米处，可以2~4厘米/秒的速度移动，对高1效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。
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